¡Bomba de vacío y controlador turbomolecular ausentes!
2× Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC
Calibrador
compacto de cátodo frío PFEIFFER IKR 251
Válvula
de ángulo de vacío VAT 26432-KA41-0001/0319
Válvula
de vacío adicional de gran tamaño de IVA
Gran conjunto
de válvulas de alto vacío
Hardware
de Manipulación, Actuación y Procesos de Gases
Sistema de actuación THC-8AWDS actuador lineal (400 mm de
recorrido)
Diversos sensores, incluyendo sensores
de presión, temperatura y
conmutación
Varios actuadores, incluyendo válvulas solenoides y elementos
calefactores
Chasis CVD (SP-500 original, adaptado en 2011)
Armario de control de flujo másico (incluido)
Seguridad y protección
de procesos
RF y Entrega
de Potencia
RF DRESSLER – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz
Unidad
RFPP RF10S
Advanced Energy MDX 500 (no funcional – no se enciende)
RF Power AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz
Fuente de alimentación TDK Lambda GEN40-125
Unidad de Control y Electrónica
Controlador
de válvula de escape MKS Tipo 252C-1-VPO
Controlador
automático de presión MKS Tipo 152
Controlador
automático de presión MKS Tipo 600
MKS Tipo 2708
PC de montaje en rack de 19\" (sin contraseña para el software de
control)
Auction-ID: A1-49139-3